W dziedzinie produkcji wyświetlaczy półprzewodnikowych lub ciekłokrystalicznych integracja urządzeń wzrosła w ostatnich latach. Przy produkcji urządzenia zwanego układem scalonym na bardzo dużą skalę wymagany jest drobny wzór o 1 mikronie lub mniej. W takim procesie produkcyjnym drobny pył lub bardzo mała ilość zanieczyszczeń gazowych osadza się lub adsorbuje na schemacie okablowania, co powoduje awarię obwodu. Dlatego konieczne jest, aby w tych gazach mógł istnieć zarówno gaz reakcyjny, jak i gaz nośny o wysokiej czystości, czyli tylko kilka cząstek i zanieczyszczeń gazowych. Z tego powodu konieczne jest, aby rura kapilary ze stali nierdzewnej lub członek używał takiego gazu o wysokiej czystości, a jego wewnętrzna powierzchnia jest wykorzystywana jako zanieczyszczenie do emitowania zanieczyszczeń, z minimalną ilością cząstek i gazu. Oprócz gazów obojętnych, takich jak azot i argon, wiele gazów zwanych gazami specjalnymi jest również wykorzystywanych jako gazy do produkcji półprzewodników. Przykłady gazów specjalnych obejmują gazy korozyjne, takie jak chlor, chlorowodór i bromowodór, oraz gazy niestabilne chemicznie, takie jak kiszonka. Ten pierwszy wymaga odporności na korozję gazową, podczas gdy drugi wymaga działania niekatalitycznego.
Do tej pory, w celu zmniejszenia osadzania się lub adsorpcji pyłu lub wody, wewnętrzna powierzchnia części używanej do produkcji gazu półprzewodnikowego została wygładzona, aż jej chropowatość powierzchni Rmax wynosi 1 mikron lub mniej. Ciągnienie na zimno, polerowanie mechaniczne, polerowanie chemiczne, polerowanie lub ich kombinacja mogą być stosowane jako metoda wygładzania wewnętrznej powierzchni lub części rury. Jednak bardzo gładki materiał o wartości 1 mikrona lub mniejszej otrzymuje się głównie przez polerowanie elektrolityczne. Wewnętrzna powierzchnia rury lub podobnej jest wygładzana, a następnie czyszczona wodą o wysokiej czystości i suszona gazem o wysokiej czystości w celu uzyskania produktu końcowego.
Spawanie jest zwykle stosowane podczas spawania. Dzieje się tak dlatego, że spawanie może zapewnić wysoką wytrzymałość i dobrą szczelność rurociągu. Podczas układania rurociągów gaz obojętny o wysokiej czystości, zwykle argon, jest stosowany jako gaz ochronny, a jego wewnętrzna powierzchnia styka się z gazem o wysokiej czystości przez rurociąg, aby uniknąć ogrzewania części zanieczyszczeń i utleniania do wysokich temperatur w jak największym stopniu. Ponadto podczas układania rurociągu rurociąg jest czyszczony argonem lub azotem o wysokiej czystości, aby usunąć te cząstki i nadal pozostać w rurze. Gdy rurociąg jest długi i skomplikowany, na przykład rurociąg, zajmuje od kilku dni do kilku tygodni. Ostatnio silnie domagano się redukcji kosztów budowy zakładu produkującego półprzewodniki i wczesnego działania zakładu. Aby spełnić te wymagania, konieczne jest teraz skrócenie czasu czyszczenia.
Oprócz powyższych właściwości, rury i elementy gazowe o wysokiej czystości muszą mieć możliwości spawania, obszar połączenia wymagany do uszczelnień mechanicznych i odporność na zużycie; gdy części takie jak złącza są obrabiane, wymagane jest osłabienie Macha. Z drugiej strony wiadomo, że specjalne gazy o odporności na korozję i właściwościach niekatalitycznych, które są wymagane do produkcji rur półprzewodnikowych lub podobnych gazów, można poprawić, ogrzewając powierzchnię stali nierdzewnej w taki sposób Atmosfera, w takiej atmosferze, kontrolowane jest ciśnienie parcjalne tlenu. Warto zauważyć, że obiektywna substancja rurociągu jest zgłaszana jako stal nierdzewna SUS 316L w tej literaturze.
Wyżej wymienione wymagane odporności na korozję i właściwości niekatalityczne dotyczą nie tylko gazociągów. To samo zapotrzebowanie dotyczy również stali nierdzewnej stosowanej w różnych urządzeniach do produkcji półprzewodników, z których jeden ma drobną obróbkę płytek. Austenityczna stal nierdzewna, w szczególności typ SUS 316L, jest stosowana głównie jako materiał na rury i inne elementy wyposażenia. Japońska publikacja patentowa Kokai nr 161145/1988 ujawnia niestandardową, czystą austenityczną stal nierdzewną z rur stalowych stosowaną w pomieszczeniach czystych. Wtrącenia niemetaliczne ograniczają redukcję zawartości manganu, krzemu, aluminium i tlenu, zmniejszając w ten sposób wytwarzanie cząstek z wewnętrznej powierzchni rurociągu.
Ponadto Japonia opublikowała publikację patentową nr 198463, 1989 /, która ujawnia członek ze stali nierdzewnej do sprzętu do produkcji półprzewodników. Pręty te są gazem utleniającym po elektrochemicznym polerowaniu stali nierdzewnej. W pewnych warunkach powstaje na niej warstwa tlenku o grubości od 100 do 500 angstremów i ogrzewana w taki sposób, że liczba atomów Ni w zewnętrznej części wynosi Proporcja